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期刊


ISSN0913-5685
刊名電子情報通信学会技術研究報告
参考译名电子信息通信学会技术研究报告：电子装置
收藏年代2000～2022

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電子情報通信学会技術研究報告电子信息通信学会技术研究报告：电子装置 


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2009, vol.109, no.157 2009, vol.109, no.16 2009, vol.109, no.23 2009, vol.109, no.230 2009, vol.109, no.288 2009, vol.109, no.313
2009, vol.109, no.360 2009, vol.109, no.422 2009, vol.109, no.81 2009, vol.109, no.97

题名作者出版年年卷期
Cu-CMP後洗浄用有機防食剤のCu錯体溶解評価伊藤篤史; 原田憲; 河瀬康弘; 水谷文一; 原誠; 青木秀充; 木村千春; 杉野隆20092009, vol.109, no.81
導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄鈴木一成; 潘毅; 岡野勝一; 副島潤一郎; 小池義和20092009, vol.109, no.81
ベベルブラシ洗浄プロセスの開発萩本賢哉; 岩元勇人20092009, vol.109, no.81
メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性増住拓朗; 原誠; 青木秀充; 呂志明; 木村千春; 杉野隆20092009, vol.109, no.81
GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の電気的評価中村成志; 星野晃一; 落合俊輔; 須原理彦; 奥村次徳20092009, vol.109, no.81
原子層堆積により形成したAl_2O_3/AlGaN/GaNの界面評価水江千帆子; 堀祐臣; ミツェーク マルチン; 橋詰保20092009, vol.109, no.81
AlGaN/GaN-HEMTに対するドライエッチングの低ダメージ化の検討蔵口雅彦; 湯元美樹; 高田賢治; 津田邦男20092009, vol.109, no.81
歪み印加時のInAsとInSbのバンド構造と電子輸送特性に関する理論的解析西野啓之; 川平一太; 原紳介; 藤代博記20092009, vol.109, no.81
InGaAs/InP二次元電子移動度の異方性赤堀誠志; T. Q. TRINH; 工藤昌宏; Th. SCHAPERS; H. HARDTDEGEN; 鈴木寿一20092009, vol.109, no.81
SiO_2細線埋込InP系HBTにおけるCBr_4を使ったin-situエッチング武部直明; 山下浩明; 高橋新之助; 齋藤尚史; 小林嵩; 宮本恭幸; 古屋一仁20092009, vol.109, no.81
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