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期刊


ISSN0912-0289
刊名精密工学会誌
参考译名日本精密工程学会志
收藏年代1998～2023



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题名作者出版年年卷期
SPMの産業応用についての展望渡辺正浩20132013, vol.79, no.3
非接触原子間力顕微鏡技術と室温原子操作阿部真之; 杉本宜昭; 森田清三20132013, vol.79, no.3
走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面粗さ測定のJIS化草野英二20132013, vol.79, no.3
探針形状の評価手法について－ナノ構造の寸法を計測する井藤浩志20132013, vol.79, no.3
SPM標準化：ISO TC201 SC9での標準化活動について藤田大介20132013, vol.79, no.3
最新装置開発：高速AFM開発について内橋貴之; 安藤敏夫20132013, vol.79, no.3
CAD／CAE／CAM／CAT通論（2）加瀬究20132013, vol.79, no.3
多軸制御工作機械送り駆動系の運動制御に関する研究佐滕隆夫20132013, vol.79, no.3
座標測定機の中間点検手法の考察和合健; 中居久明; 加藤勝; 久田哲弥; 渡部光隆; 吉田智; 大澤尊光; 井山俊郎20132013, vol.79, no.3
共焦点式輪郭測定センサを対象とした異常値低減法の開発深津拡也; 柳和久20132013, vol.79, no.3
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